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ASML Hyper NA 遇景深难题，光刻机也难了，韩国备件全面涨价 10%

半导体行业的发展，始终被光刻机这台精密设备牵着节奏走。作为全球唯一能量产 EUV 光刻机的厂商，ASML 联合核心光学合作伙伴蔡司，正在向下一代 Hyper NA EUV 技术发起攻关。与此同时，ASML 在商业层面也做出调整，面向韩国市场的光刻机备件统一上调 10%，三星与 SK 海力士已经同意接受新的定价。一边是下一代先进制程的技术天花板，一边是…

aliquis唯一数码2026-10-10

半导体行业的发展，始终被光刻机这台精密设备牵着节奏走。

作为全球唯一能量产 EUV 光刻机的厂商，ASML 联合核心光学合作伙伴蔡司，正在向下一代 Hyper NA EUV 技术发起攻关。

与此同时，ASML 在商业层面也做出调整，面向韩国市场的光刻机备件统一上调 10%，三星与 SK 海力士已经同意接受新的定价。

一边是下一代先进制程的技术天花板，一边是成熟设备运维成本上涨的现实压力，两件事叠加在一起，也让整个芯片制造行业看清，先进芯片生产的技术门槛与资金门槛，都在持续抬升。

很多人都知道，当下投入量产的 High NA EUV 光刻机，依靠 0.55 的数值孔径，支撑起 3nm、2nm 这类先进逻辑芯片的制造。而 Hyper NA EUV，是在现有基础上继续提升数值孔径，目标锁定 0.75 规格，理论上可以实现 5nm 半间距的光刻分辨率，为未来十年的芯片工艺迭代提供硬件基础。

ASML 和蔡司经过大量联合评估后认为，把数值孔径做到 0.75 是技术可行性最高的路线，这个方案的设备体积和现在的 High NA 机型差距不大，现有 EUV 光源、大部分掩膜版都可以直接复用，蔡司当前的反射镜制造能力也能够满足光学系统的要求，不用重新搭建整套光学产线，能大幅降低新技术落地的成本。

如果强行把数值孔径继续拉高到 0.85，整套光学系统的体积会急剧膨胀，洁净室改造、设备搬运和维护成本都会暴涨，性价比会大幅下降，因此不在优先推进的路线内。

但这套看似稳妥的技术方案，有一个绕不开的硬骨头，就是可用景深会显著降低。光学原理决定，数值孔径越高，光刻的分辨率越强，但景深会随之缩小。

放到晶圆制造场景里，景深就相当于曝光时的容错窗口。景深变小之后，晶圆表面一点点微小起伏、热变形，都会直接造成光刻图案失真，产生大量良率缺陷。想要解决这个问题，光刻胶必须做得更薄，还要配套升级光刻机的实时对焦系统，对晶圆表面平坦度的控制精度提出近乎苛刻的要求。

晶圆在扫描曝光的过程中，台面需要做到亚纳米级别的动态调平，任何微小震动都会影响最终成型的电路图案。

更薄的光刻胶又会带来连锁问题，光刻胶变薄之后，能够捕获的 EUV 光子变少，随机缺陷发生概率会明显提升，断线、孔洞缺失、边缘粗糙等问题会更容易出现。这些微小缺陷，在先进制程里会直接造成芯片报废。ASML 和蔡司也提出，需要搭建专门的微型曝光设备，用来持续迭代光刻胶材料，完善整套工艺控制体系。

简单来说，Hyper NA EUV 不是只做好光刻机硬件就够，光刻材料、晶圆抛光工艺、实时精密控制整套产业链，都要同步升级，任何一环跟不上，都没法大规模投产。

就在研发团队攻坚下一代设备技术瓶颈的时候，ASML 在韩国市场抛出了备件涨价方案。

这次涨价覆盖 EUV 和 DUV 光刻机全部替换零部件，不管是需要周期性更换的耗材，还是光源、反射镜、精密驱动这类核心维修组件，全部统一上调 10%，新价格会在明年正式生效。

ASML 此前的调价方式相对克制，大多是原材料暴涨的时候，针对个别零部件单独调整价格，像这样全品类备件一次性提价，在过往并不多见。韩国两大存储芯片大厂三星和 SK 海力士，在和 ASML 采购部门协商之后，最终接受了这次涨价。

韩国是全球存储芯片核心产区，三星和 SK 海力士工厂里部署了大量 ASML 的 DUV 和 EUV 光刻机。对于芯片工厂而言，设备采购只是投入的开始，后续常年更换备件、维护升级，是一笔持续性的巨额开销。ASML 的存量设备维保、备件更换业务已经成为稳定收入来源，随着装机量持续增长，这块业务的营收占比还在不断走高。

对于三星、SK 海力士而言，存储芯片市场周期性波动，利润本就不稳定，但光刻机备件没有其他替代供应商，一旦设备停机，产线停工损失远高于备件涨价带来的成本增加，所以只能接受涨价方案。业内普遍判断，韩国市场备件涨价落地之后，ASML 后续和其他地区客户谈判新机采购价格时，也会掌握更强的议价主动权，设备运维成本上涨的压力，会慢慢传导到整个芯片产业链。

技术挑战和商业成本的双重压力，摆在芯片制造行业面前。Hyper NA EUV 代表摩尔定律继续向前延伸的可能性，但极窄的可用景深问题，意味着未来先进制程的工艺容错空间会越来越小，任何细节瑕疵都可能造成良率灾难。而备件涨价这件事，则直白展示出光刻机供应商拥有极强的定价权。芯片厂商不仅要持续投入巨额资金采购上亿一台的光刻机，设备后续几十年使用周期里，还要持续承担越来越贵的维护成本。

两种趋势放在一起，会慢慢改变行业的投入逻辑。以前厂商比拼的是谁能率先拿到最新光刻机，现在不仅要抢设备，还要持续投入配套材料、工艺研发，同时预留充足预算承担运维开销。

对于存储芯片厂商来说，成本上涨会压缩利润空间；对于逻辑芯片代工企业，下一代 Hyper NA EUV 的工艺攻关，又会带来全新的研发考验。